一种陶瓷电容式压力传感器的弹性薄基板及制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202011588667.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112834085A | 公开（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申请公布号 | CN112834085A | 申请公布日 | 2021-05-25 |
| 分类号 | G01L1/14 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 赵兴奎;廖景昌;周宇波;黄河;沈河江 | 申请（专利权）人 | 襄阳臻芯传感科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州中合知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘召民 |
| 地址 | 441000 湖北省襄阳市东津新区（经开区）大湾区（襄阳）工业园办公楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种陶瓷电容式压力传感器的弹性薄基板及制作方法，包括：50～90份氧化铝粉，10～30份氧化锆粉，40～60份溶剂，0.3～0.8份分散剂，0.3～0.8份消泡剂，3～6份增塑剂，6～9份树脂，其中，份数均指重量份。方法包括以下步骤：S1：将上述成分通过直径为3‑10mm的锆球在球磨罐内混合球磨制成浆料；S2：将浆料抽真空10～30分钟后进行流延形成生瓷片；S3：将所述生瓷片在冲压机上进行冲压，形成生瓷胚；S4：将生瓷坯装入排胶钵，利用循环热风干燥箱对所述生瓷坯加热；S5：将步骤S4中加热后生瓷坯用高温烧成炉烧结。本发明所述的弹性薄基板提高了陶瓷电容式压力传感器的可靠性。 |
