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陶瓷电容式压力传感器

基本信息

申请号 CN201721257840.1 申请日 -
公开（公告）号 CN207487857U 公开（公告）日 2018-06-12
申请公布号 CN207487857U 申请公布日 2018-06-12
分类号 G01L1/14;G01L9/12;G01L23/12 分类 测量；测试;
发明人 赵兴奎;廖景昌;朱里鹏 申请（专利权）人 襄阳臻芯传感科技有限公司
代理机构 苏州中合知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 赵晓芳
地址 441004 湖北省襄阳市襄阳佳海工业城第A58幢A58号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种陶瓷电容式压力传感器，包括薄基板和厚基板，薄基板和厚基板均为大小相等的方形结构，且薄基板通过激光划线的方式划成若干薄基板方块单元，厚基板采用干压成型的方式预制成若干厚基板方块单元；每个薄基板方块单元上设置有薄基板金属电极，每个厚基板方块单元上设置有厚基板金属电极、环形金属电极、厚基板引线电极、环形金属引线电极、薄基板引线电极和导电孔；每个薄基板方块单元和每个厚基板方块单元之间设置有隔离墩，薄基板和厚基板相对固定在一起，送入烘炉固化成陶瓷电容式压力传感器主体。本实用新型同时可以预置若干个独立的传感器主体单元，可以满足批量生产的需求，节能高效，其产品的可靠性高。