一种一体式陶瓷电容压力传感器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201510457754.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105021326B | 公开（公告）日 | 2018-06-05 |
| 申请公布号 | CN105021326B | 申请公布日 | 2018-06-05 |
| 分类号 | G01L1/14;G01L9/12 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 赵兴奎;周宇波 | 申请（专利权）人 | 襄阳臻芯传感科技有限公司 |
| 代理机构 | 襄阳嘉琛知识产权事务所 | 代理人 | 严崇姚;潘文建 |
| 地址 | 441004 湖北省襄阳市高新区佳海工业城第A58栋A58号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明的名称为一种一体式陶瓷电容压力传感器及其制造方法。属于压力传感器技术领域。它主要是解决现有陶瓷电容式压力传感器厚片和薄片间密封性和粘结强度较低，造成可靠性不够的问题。它的主要特征是：包括弹性薄基板、厚基板、以及其之间的间隙隔离片；弹性薄基板、厚基板和间隙隔离片均为流延成型的氧化铝或氧化锆生瓷片叠压而成；所述弹性薄基板、间隙隔离片和厚基板经烧结后成为一个整体。本发明具有确保陶瓷基板间的强度和密封性，提高产品可靠性的特点，主要用于陶瓷电容式压力传感器。 |
