一种陶瓷电容式压力传感器芯体及制作方法

基本信息

申请号 CN202011586941.X 申请日 -
公开(公告)号 CN112834084A 公开(公告)日 2021-05-25
申请公布号 CN112834084A 申请公布日 2021-05-25
分类号 G01L1/14;G01L9/12 分类 测量;测试;
发明人 赵兴奎;廖景昌;周宇波;黄河;沈河江 申请(专利权)人 襄阳臻芯传感科技有限公司
代理机构 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 刘召民
地址 441000 湖北省襄阳市东津新区(经开区)大湾区(襄阳)工业园办公楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种陶瓷电容式压力传感器芯体,包括:第一基板、第二基板、第一电极、第二电极、隔离墩、第一引线孔、第二引线孔和第三引线孔,所述第一电极印刷设于所述第一基板正面,所述第二电极印刷设于所述第二基板正面,所述第一基板的正面和第二基板的正面相对设置,且所述第一基板和第二基板的正面之间设有所述隔离墩,所述隔离墩一侧与所述第一电极固定连接,另一侧与所述第二基板固定连接;所述第二基板上贯穿设有所述第一引线孔、第二引线孔和第三引线孔,所述第一引线孔底端为所述隔离墩,所述第二引线孔和第三引线孔底端为所述第二电极。本发明结构简洁,便于高效生产,同时具有可靠性高、传感器介质兼容性强等特点。