一种陶瓷电容式压力传感器的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202010678119.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111664968A | 公开（公告）日 | 2020-09-15 |
| 申请公布号 | CN111664968A | 申请公布日 | 2020-09-15 |
| 分类号 | G01L1/14(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 赵兴奎;廖景昌;周宇波;黄河;沈河江 | 申请（专利权）人 | 襄阳臻芯传感科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州中合知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李斌 |
| 地址 | 441000湖北省襄阳市高新区襄阳佳海工业城第A58幢A58号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及了一种陶瓷电容式压力传感器的制作方法，在陶瓷电容式压力传感器制造过程中，对基板上所成型的电极表面进行磨抛，用于使电极表面平整。本发明的一种陶瓷电容式压力传感器的制作方法，对陶瓷电容式压力传感器基板电极的表面进行磨抛处理，使电极表面细腻、平整；进而确保陶瓷电容式压力传感器的合格率，提高产品的可靠性。 |
