SiON波导与光纤耦合结构及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201910014594.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109445032A | 公开（公告）日 | 2019-03-08 |
| 申请公布号 | CN109445032A | 申请公布日 | 2019-03-08 |
| 分类号 | G02B6/26;G02B6/138;G02B6/136;G02B6/132 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 袁晓君;耿凯鸽 | 申请（专利权）人 | 科新网通科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 葛钟 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市伊滨区科技大厦A座6007室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种SiON波导与光纤耦合结构，包括SiON波导，为输入波导；二氧化硅波导，包覆于SiON波导的外侧；锥形SiON波导，被包覆于二氧化硅波导内侧，且处于SiON波导水平面的下方，且横截面尺寸小于SiON波导的横截面尺寸，横截面尺寸沿着光传输的方向渐扩；SiON输出波导，与锥形SiON波导连接。以及制作SiON波导与光纤耦合结构的方法。本发明在SiON波导上包覆一层SiO2，使这个结构与空气隔开并起到保护作用，SiON波导与锥形SiON波导的折射率不同，SiON波导能够与光纤匹配，锥形SiON波导又能够做到小尺寸，通过该种耦合结构，可以把器件做小，且减小了能耗。 |
