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一种用于芯片制造的智能控温单晶炉

基本信息

申请号 CN201921231556.6 申请日 -
公开（公告）号 CN210916346U 公开（公告）日 2020-07-03
申请公布号 CN210916346U 申请公布日 2020-07-03
分类号 C30B15/20;C30B15/14 分类 -
发明人 张继栓 申请（专利权）人 山东圣诺实业有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 277500 山东省枣庄市滕州市级索镇耀国路66号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于芯片制造的智能控温单晶炉，包括炉室、永磁场、下炉室、电极、转轴进口、第一电机、上炉盖、光学传感器、温度感应器、第二电机，所述炉室左右两端固定有永磁场，所述炉室下端固定有下炉室，所述下炉室下端左右两部竖直贯穿固定有电极，所述下炉室下端中部开有转轴进口，所述第一电机上部通过转轴进口伸入下炉室，所述炉室上端固定有上炉盖，所述上炉盖上端右部固定有斜向内方向的光学传感器，所述上炉盖上端左部固定有斜向内方向的温度感应器，所述上炉盖上端中部安装有第二电机，本实用新型可以在单晶拉制的过程中时时有效的将热场的温度控制在适当的温度水平，大大保证了单晶的生产品质，提升了制作效率。