显影设备用清洗剂及其使用方法
基本信息
申请号 | CN201210562896.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN103046061B | 公开(公告)日 | 2015-02-25 |
申请公布号 | CN103046061B | 申请公布日 | 2015-02-25 |
分类号 | C23G1/02(2006.01)I;C23G1/06(2006.01)I;G03F7/30(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 李煜;王翔 | 申请(专利权)人 | 黄山金瑞泰科技股份有限公司 |
代理机构 | 合肥诚兴知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄山金瑞泰科技有限公司;黄山金瑞泰科技股份有限公司 |
地址 | 245700 安徽省黄山市黄山区安徽黄山工业园区 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种显影设备用清洗剂,包括5~30重量份的主剂和3~15重量份的辅剂,所述的主剂为氨基磺酸、磺基水杨酸、柠檬酸、磷酸、乙醇酸中的一种或几种构成,所述的辅剂为草酸、氟化氢铵、顺丁烯二酸酐、聚乙烯磷酸中一种或几种构成。通过将上述重量比的主剂和辅剂混合构成的清洗剂配置成清洗液对显影设备的进行清洗,在保证对显影设备内结垢和结晶物有效清洗除去的同时,降低清洗时清洗液对显影设备的腐蚀速率,保护显影设备,延长显影设备的使用寿命。 |
