压力传感器激光调修方法及其压力传感器芯片
基本信息
| 申请号 | CN202110710338.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113295320A | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN113295320A | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | G01L9/00（2006.01）I;G01L9/04（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李玉林;谢文;袁宇飞 | 申请（专利权）人 | 东莞市华芯联科技有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市启信展华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 关秀娟 |
| 地址 | 523000广东省东莞市松山湖园区总部二路17号1栋1单元501室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及陶瓷压力传感器激光调修的技术领域，特别涉及压力传感器激光调修方法，包括：惠斯通电桥，还包括：并联于所述惠斯通电桥的每一力敏电阻、具有粗/微调节功能的激光调节电路。本发明通过并联可调电阻，具有粗调及细调的功能，可以大幅度提高产品调阻精度，并降低电阻温飘，提高产品温度稳定性，激光调阻后不影响桥路功率，对传感器最大耐压及最大功率有大幅度提升，可满足苛刻使用环境的要求。另，本发明还提供了具有激光调修功能的压力传感器芯片。 |
