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一种利用机械调谐测量电子束流直径的方法

基本信息

申请号 CN201811142828.5 申请日 -
公开（公告）号 CN109855509A 公开（公告）日 2019-06-07
申请公布号 CN109855509A 申请公布日 2019-06-07
分类号 G01B5/08（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 柴彦科; 曹永升; 穆建中; 马正军 申请（专利权）人 甘肃虹光电子有限责任公司
代理机构 甘肃省知识产权事务中心 代理人 甘肃虹光电子有限责任公司
地址 744000 甘肃省平凉市崆峒区崆峒中路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种利用机械调谐测试电子束流直径的方法，所用设备包括电子束发射系统、电子束收集系统、真空陶瓷外壳、排气系统、微调系统、电流表，电子束发射系统发射的电子被电子束收集极收集，由电流表、电子束收集极及大地之间构成的回路中有电流流过，电流表显示数字，屏蔽片在移动过程中遮挡电子，被遮挡电子的数量与电流表读数成成线性关系，当电子束全部被屏蔽片遮挡后，电流表读数饱和，不在变化。通过电流表出现读数及电流表读数不在随屏蔽片移动而变化时，刻度盘前后的刻度差就是电子束直径。有益效果：测试过程简便，可重复多次测试；测试精度达到0.02mm，对电真空器件的研究具有重要的意义。