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一种利用机械调谐测量电子束流直径的装置

基本信息

申请号 CN201821592430.7 申请日 -
公开（公告）号 CN209069177U 公开（公告）日 2019-07-05
申请公布号 CN209069177U 申请公布日 2019-07-05
分类号 G01B5/08（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 柴彦科; 曹永升; 穆建中; 马正军 申请（专利权）人 甘肃虹光电子有限责任公司
代理机构 甘肃省知识产权事务中心 代理人 甘肃虹光电子有限责任公司
地址 744000 甘肃省平凉市崆峒区崆峒中路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型是一种利用机械调谐测量电子束流直径的装置，电子束发射系统、电子束收集系统分别固定在真空陶瓷外壳相对的两端，排气系统、微调系统连接于真空陶瓷外壳；所述电子束收集系统有电子束收集极、散热片，散热片固定于电子束收集极外表面；所述排气系统由真空泵抽气；所述微调系统包括调谐引出筒，弹性管组件和刻度盘，弹性管组件包括固定套、弹性管、调谐螺杆、屏蔽片、T型连接杆，刻度盘包括轴向刻度筒和径向刻度筒两部分，轴向刻度筒与固定套固定在一起，径向刻度筒套接轴向刻度筒，径向刻度筒有内螺纹，径向刻度筒的内螺纹与调谐螺杆的外螺纹相配合。有益效果：测试过程简便，可重复多次测试；测试精度达到0.02mm。