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影像检测装置及芯片检测系统

基本信息

申请号 CN202110595120.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113310984A 公开（公告）日 2021-08-27
申请公布号 CN113310984A 申请公布日 2021-08-27
分类号 G01N21/84（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 林广满;陈林山;王建勇;范聚吉 申请（专利权）人 深圳市深科达半导体科技有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 刘艳
地址 518000广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号B栋第二层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种影像检测装置及芯片检测系统，影像检测装置包括包括拍摄组件、用于照亮所述待测件的光源、第一反射结构和第二反射结构，所述第一反射结构的反射表面相对所述拍摄组件的光轴倾斜设置，所述第二反射结构的反射表面相对待测件的第二表面的法线倾斜设置，且所述第一反射结构的反射表面和所述第二反射结构的反射表面正对设置，所述第二表面的图像依次经过所述第二反射结构和所述第一反射结构的反射，由所述拍摄组件拍摄成像。本发明提供的影像检测装置及芯片检测系统，可以拍摄芯片的侧面图像，倒角相对芯片的侧面占比较大，从而能够减小误判的情况发生。