一种遂穿氧化钝化电池的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010258936.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111524999A | 公开（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申请公布号 | CN111524999A | 申请公布日 | 2020-08-11 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 袁宁一;王芹芹;丁建宁;程广贵;王书博 | 申请（专利权）人 | 常州顺风太阳能科技有限公司 |
| 代理机构 | 常州市英诺创信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 常州大学 |
| 地址 | 213164江苏省常州市武进区滆湖路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于太阳能光伏行业领域，尤其涉及一种遂穿氧化钝化电池的制备方法。背面采用抛光面的结构可有效的提升光利用率，采用一步沉积多晶硅磷掺杂及生长厚氧化掩膜层，减少了工艺步骤；然后进行绕镀整面去除，加大了工艺窗口，规避了目前常用的工艺流程是先正面硼扩散再背面多晶硅掺杂的弊端——绕镀去除的难度，然而即使去除干净，必然也会造成一定的印记，影响外观良率。同时本发明方法引入退火与硼掺杂二合一的方式，不仅简化了流程，同时无外观不良，工艺流程短，能耗少，有效的提高了生产良率和质量等特点。 |
