一种空穴选择性钝化接触电池的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110458226.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113193081A | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN113193081A | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I;H01L21/225（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王芹芹;瞿辉;曹玉甲 | 申请（专利权）人 | 常州顺风太阳能科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 朱晓凯 |
| 地址 | 213123江苏省常州市武进高新技术产业开发区阳湖路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种空穴选择性钝化接触电池的制备方法，包括如下步骤：（1）双面制绒；（2）无氧硼掺杂；（3）背面形貌；（4）沉积微晶硅；（5）制备细栅线图形；（6）形成轻掺杂p+层：利用酸刻蚀的方式去除非掩膜区域的微晶硅并刻蚀硼掺杂区域形成P+层；（7）形成高掺杂多晶硅p++层及n+层：通过热氧化后进行磷掺杂或者旋涂的方式经过高温退火分别形成了高掺杂多晶硅p++层及n+层；（8）清洗；（9）钝化；（10）丝网印刷。本发明制备流程简易方便，同时可有效的提升电池效率，且适合批量化生产。 |
