一种用于石英坩埚氢氧化钡涂层的装置及方法

基本信息

申请号 CN201110273302.2 申请日 -
公开(公告)号 CN102336527B 公开(公告)日 2013-06-12
申请公布号 CN102336527B 申请公布日 2013-06-12
分类号 C03C17/22(2006.01)I 分类 玻璃;矿棉或渣棉;
发明人 陈宝昌;刘爱军;金军;李鹏飞;邵天聪;冯涛 申请(专利权)人 丽江华品石英制品有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 代理人 江苏华尔光电材料股份有限公司;江苏华尔石英材料股份有限公司;丽江华品石英制品有限公司
地址 225600 江苏省扬州市高邮市经济开发区长江路北侧
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于石英坩埚氢氧化钡涂层的装置,包括喷雾系统、石英坩埚旋转支撑机构和雾化喷嘴上下往复运行机构;所述喷雾系统包括药液循环加热机构、氮气保护机构、供液机构和二氧化碳供应机构。本发明还公开了一种使用上述装置进行石英坩埚氢氧化钡涂层的方法。本发明采用氮气作为保护气体,可保证氢氧化钡溶液不与空气中的二氧化碳反应,不会混入其他杂质,使喷涂时为纯氢氧化钡溶液,避免其他杂质的污染,而且结构简单,易于制作,方法操作简单,控制方便,易于掌握。