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一种绝对式时栅直线位移传感器

基本信息

申请号 CN202010282960.7 申请日 -
公开（公告）号 CN111397498A 公开（公告）日 2020-07-10
申请公布号 CN111397498A 申请公布日 2020-07-10
分类号 G01B7/02(2006.01)I 分类 -
发明人 张伟;尚启慧;王中宇 申请（专利权）人 重庆中电天时精密装备技术有限公司
代理机构 重庆百润洪知识产权代理有限公司 代理人 重庆中电天时精密装备技术有限公司
地址 400000重庆市九龙坡区九龙园大道26号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及传感器技术领域，且公开了一种绝对式时栅直线位移传感器，包括动尺和定尺，所述动尺包括动尺基体、精极感应调制极和粗极感应调制极；所述定尺包括定尺基体、精极激励极和粗极激励极。1、本申请的位移的精测和粗测都采用同一感应原理，使测量系统更精简，传感器电路与结构更简单，减小了传感器规模和布线难度。2、本申请采用时栅原理的测量方法，通过测量相位信号的变化来间接测量位移，测量结果更精确。3、本申请采用方波激励形式的时栅传感器能够大幅度减小电路规模和体积，从而有效的降低制造成本，满足更多场合的需求，且方波激励信号相比于正弦波信号产生更简单。