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一种高纯电子级氯气纯化生产装置

基本信息

申请号	CN202121372068.4	申请日	-
公开（公告）号	CN215101986U	公开（公告）日	2021-12-10
申请公布号	CN215101986U	申请公布日	2021-12-10
分类号	C01B7/07（2006.01）I	分类	无机化学;
发明人	曹小林;杜大艳;杜鹏举;方强;黄梦元;王宙宇	申请（专利权）人	湖北和远气体股份有限公司
代理机构	上海精晟知识产权代理有限公司	代理人	龙凯
地址	443000湖北省宜昌市长阳土家族自治县龙舟坪镇龙舟大道52号（馨农家园）2栋1102号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种高纯电子级氯气纯化生产装置，包括液氯储罐、汽化器、氯水洗涤塔、冷凝塔、吸附器、脱轻精馏塔、脱重精馏塔、膜压机、过滤器和收集瓶，液氯储罐连通于汽化器，汽化器通过氯水洗涤塔连通于冷凝塔，冷凝塔通过吸附器连通于脱轻精馏塔，脱轻精馏塔连接脱重精馏塔，脱重精馏塔通过膜压机连通于收集瓶，膜压机与收集瓶之间连接有过滤器。本实用新型采用液相进料避免三氯化氮富集在液氯储罐与液氯发生爆炸，氯水洗涤塔和脱重精馏塔可以除去三氯化氮，避免三氯化氮污染高纯氯气；氯水洗涤塔可以除去金属氯化物和非金属氯化物，提高氯气的纯度，避免了对电子材料的影响；吸附器、脱轻精馏塔和脱重精馏塔，可提高对其他气体杂质的去除效果；提高氯气的纯度。