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一种储存和循环回收氯硅烷的装置及工艺

基本信息

申请号 CN201110039326.1 申请日 -
公开（公告）号 CN102287616B 公开（公告）日 2013-06-12
申请公布号 CN102287616B 申请公布日 2013-06-12
分类号 F17D1/08(2006.01)I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 唐猷成;王恒孝;黎展荣;蒲晓东 申请（专利权）人 四川新光硅业科技有限责任公司
代理机构 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 代理人 四川新光硅业科技有限责任公司
地址 614000 四川省乐山市乐高大道2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种储存和循环回收氯硅烷的装置及循环回收氯硅烷的工艺。本发明储存氯硅烷的装置包括氯硅烷储罐、冷凝器，氯硅烷储罐与冷凝器之间设置有氯硅烷气体管道和氯硅烷冷凝液回流管，在氯硅烷气体管道上设置了气动开关阀，在冷凝器的氯硅烷冷凝液管与氯硅烷冷凝液回流管之间增设了缓冲罐、过滤器、气动调节阀，缓冲罐顶部与冷凝器气相入口之间还设置有回气管，氯硅烷冷凝管的出口处设置有信号接收器，信号接收器通过控制器与气动开关阀及气动调节阀之间信号连接。本发明过关闭气动调节阀和堵塞过滤器，能有效地阻止泄漏的冷却循环水进入氯硅烷储罐并与其中的氯硅烷发生反应，避免重大安全事故的发生。