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氯硅烷取样系统

基本信息

申请号 CN201220100212.3 申请日 -
公开（公告）号 CN202453218U 公开（公告）日 2012-09-26
申请公布号 CN202453218U 申请公布日 2012-09-26
分类号 G01N1/10(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 王恒孝;唐猷成;胡小冬;王岭;刘建锋;黎展荣;蒲晓东 申请（专利权）人 四川新光硅业科技有限责任公司
代理机构 四川力久律师事务所 代理人 四川新光硅业科技有限责任公司
地址 614000 四川省乐山市乐高大道2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及氯硅烷取样系统，包括取样器主体、样品输入装置、样品输出装置，所述取样器主体包括取样瓶、压盖、取样器输入口和取样器输出口，样品输入装置通过管线、进口二位三通阀与取样器输入口连通；样品输出装置通过管线、出口二位三通阀与取样器输出口连通，进口二位三通阀与样品输入装置之间还通过管线Ⅰ连接有保护气体输入装置，出口二位三通阀与样品输出装置之间还通过管线Ⅱ连接有保护气体输出装置；进口二位三通阀和出口二位三通阀之间还连接有取样瓶旁路管道。本实用新型氯硅烷取样系统取样安全，降低了对样品成分和/或含量的影响；解决了生产多晶硅过程中氯硅烷取样长期存在的安全隐患，使多晶硅生产安全、稳定和高效地运行。