多晶硅生产的尾气回收处理系统
基本信息
| 申请号 | CN201220132869.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202490563U | 公开（公告）日 | 2012-10-17 |
| 申请公布号 | CN202490563U | 申请公布日 | 2012-10-17 |
| 分类号 | B01D53/18(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 周祥顺;王岭;蒲晓东;刘小锋;王大海 | 申请（专利权）人 | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 四川力久律师事务所 | 代理人 | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
| 地址 | 614000 四川省乐山市乐高大道2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及尾气回收系统领域，具体涉及多晶硅生产的尾气回收处理系统，包括由管道连接的吸收塔（3）、脱吸塔Ⅰ（1），还包括与脱吸塔Ⅰ（1）通过管道连接的脱吸塔Ⅱ（2）。本实用新型多晶硅生产的尾气回收处理系统只包含了一个吸收塔和两个精馏塔，结构简单，占地小，降低了设备投入成本；对尾气中成分进行分离，使尾气中氢气、氯化氢和二氯二氢硅都得到了回收，实现了尾气回收时被回收的各组分之间较彻底的分离。 |
