三氯氢硅汽化工艺
基本信息
| 申请号 | CN201110160665.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102249242B | 公开（公告）日 | 2013-06-12 |
| 申请公布号 | CN102249242B | 申请公布日 | 2013-06-12 |
| 分类号 | C01B33/035(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 刘畅;王岭;张维;刘维 | 申请（专利权）人 | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 四川力久律师事务所 | 代理人 | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
| 地址 | 614000 四川省乐山市市中区车子镇乐高大道2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及到多晶硅生产工艺，具体地说涉及到一种三氯氢硅的汽化工艺，属于多晶硅生产技术领域。本发明的三氯氢硅汽化工艺，包括（1）精馏得到的高纯三氯氢硅液体经计量后进入蒸发器蒸发；（2）蒸发得到的三氯氢硅气体与经计量后的氢气在气体混合器混合，得到混合气。本发明的三氯氢硅汽化工艺，采用三氯氢硅气体与氢气进行混合，可以得到配比稳定、混合均匀的混合气；原料的混合更均匀，有利于还原炉内多晶硅硅棒的均匀生长，生长出的多晶硅产品晶粒均匀、外观质量较好。 |
