多晶硅还原炉硅芯夹持装置
基本信息
申请号 | CN201110144906.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN102219217B | 公开(公告)日 | 2013-09-11 |
申请公布号 | CN102219217B | 申请公布日 | 2013-09-11 |
分类号 | C01B33/03(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 张维;王岭;刘勇;周华丽 | 申请(专利权)人 | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
代理机构 | 四川力久律师事务所 | 代理人 | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
地址 | 614000 四川省乐山市市中区车子镇乐高大道2号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种夹持装置,具体地说涉及多晶硅还原炉硅芯夹持装置,属于多晶硅生产技术领域。本发明的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,包括卡瓣、盖子和底座,卡瓣通过盖子安装在底座上,盖子通过螺纹与底座连接,所述卡瓣包括上部的圆锥台和下部的圆柱体,所述圆柱体的直径大于圆锥台底面的直径,所述卡瓣的中心设有垂直的圆孔,所述圆孔与圆锥台同轴心。本发明结构稳定、能紧密包裹硅芯,防止硅芯根部发生逆腐蚀而倒棒,对整个还原生产倒棒率的减少极为有效。 |
