多晶硅还原炉硅芯夹持装置

基本信息

申请号 CN201110144906.7 申请日 -
公开(公告)号 CN102219217B 公开(公告)日 2013-09-11
申请公布号 CN102219217B 申请公布日 2013-09-11
分类号 C01B33/03(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 张维;王岭;刘勇;周华丽 申请(专利权)人 四川新光硅业科技有限责任公司
代理机构 四川力久律师事务所 代理人 四川新光硅业科技有限责任公司
地址 614000 四川省乐山市市中区车子镇乐高大道2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种夹持装置,具体地说涉及多晶硅还原炉硅芯夹持装置,属于多晶硅生产技术领域。本发明的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,包括卡瓣、盖子和底座,卡瓣通过盖子安装在底座上,盖子通过螺纹与底座连接,所述卡瓣包括上部的圆锥台和下部的圆柱体,所述圆柱体的直径大于圆锥台底面的直径,所述卡瓣的中心设有垂直的圆孔,所述圆孔与圆锥台同轴心。本发明结构稳定、能紧密包裹硅芯,防止硅芯根部发生逆腐蚀而倒棒,对整个还原生产倒棒率的减少极为有效。