真空镀膜机用气管及真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN202120359588.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214400689U | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN214400689U | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | C23C14/22（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 钦晔;张毅平;李翔;徐慎豪;沈建强 | 申请（专利权）人 | 苏州凯瑞纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张惠明 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市吴中经济开发区兴南路1号6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空镀膜机用气管及真空镀膜机。真空镀膜机用气管，包括气管本体，气管本体为管状结构，气管本体上气孔，气孔沿着气管本体的轴线方向排布；气管本体的第一端通过板体封闭，气管本体的第二端为开口端，从气管本体的开口端到封闭端，气孔的截面积依次增加。真空镀膜机，包括真空镀膜机用气管，真空腔室，真空腔室的底板的相对位置处开设有两个安装孔，真空镀膜机用气管的连接管与安装孔连接，两根真空镀膜机用气管的气孔的出气方向相反。本实用新型的真空镀膜机用气管内的工作气体通过气孔进入真空腔室内，可以使得真空腔室内的工作气体更加均匀。 |
