一种膜厚探测仪安装结构及镀膜系统
基本信息
| 申请号 | CN202120503423.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214458298U | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN214458298U | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | C23C14/54;G01B21/08 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 钦晔;石启明 | 申请（专利权）人 | 苏州凯瑞纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张惠明 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市吴中经济开发区兴南路1号6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种膜厚探测仪安装结构及镀膜系统，所述膜厚探测仪安装结构包括：治具板、连接杆、安装板、探头支架以及用于安装膜厚探测仪的探头安装筒；安装板和治具板沿探头安装筒的轴线方向相对间隔设置；连接杆设置于安装板和治具板之间，以实现治具板与安装板的可拆卸式连接；探头支架安装于安装板，探头安装筒安装于探头支架；安装板于探头安装筒的正下方设有透视槽，透视槽安装有透明玻璃；治具板于探头安装筒的正下方设有检测玻璃，以实现膜厚探测仪通过透明玻璃、检测玻璃实现膜层厚度的检测。本实用新型膜厚探测仪安装结构一次安装便可实现其整体安装于沉积仓，安装便捷且易于实现，节约时间且效率高。 |
