一种派瑞林镀膜系统
基本信息
| 申请号 | CN201922231619.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211227299U | 公开（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申请公布号 | CN211227299U | 申请公布日 | 2020-08-11 |
| 分类号 | C23C14/12(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 钦晔 | 申请（专利权）人 | 苏州凯瑞纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张惠明 |
| 地址 | 215168江苏省苏州市吴中经济开发区兴南路1号6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种派瑞林镀膜系统，用于解决现有技术中存在的派瑞林镀膜质量不稳定与镀膜效率低的技术问题。派瑞林镀膜系统，包括：依次连通的预热料仓、定量给料结构、加热仓、裂解仓、沉积仓、低温冷阱与真空泵组；膜厚探测装置，所述膜厚探测装置设置在沉积仓处；其中，定量给料结构包括第一控制阀，第一控制阀用于切断或连通加热仓与预热料仓；预热料仓通过支管与所述裂解仓连通，支管上设有第二控制阀；沉积仓处设置第一压力真空检测仪；真空泵组处设置第二压力真空检测仪；控制器。本实用新型持续定量给加热仓输送粉料，使进入加热仓的粉料的数量始终保持在最佳值，加热仓一直保持在燃粉温度，提高了镀膜效率与膜层的质量。 |
