一种电阻式柔性压力传感器件及其制备方法、传感器阵列
基本信息
| 申请号 | CN201910413111.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110068404A | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN110068404A | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | G01L1/22;G01L9/04 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 丁小恒;曹海琳;孙思雨;李明愚;郭悦 | 申请（专利权）人 | 深圳烯创先进材料研究院有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市添源知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗志伟 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道科技南十路6号深圳航天科技创新研究院大厦C座401-404房间 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种电阻式超薄柔性压力传感器件，包括叠层放置的第一柔性薄膜基底和第二柔性薄膜基底，所述第一柔性薄膜基底、第二柔性薄膜基底之间包含至少一层印制图案化的电极对和至少一层具有自组装微纳表面结构的压敏材料层，其中所述第一柔性薄膜基底、第二柔性薄膜基底用于传递力载荷，同时密封保护所述电极对和所述压敏材料层。本发明还提供了一种传感器阵列。本发明还提供了一种电阻式柔性压力传感器件的制备方法。本发明的有益效果是：提供了一种电阻式柔性压力传感器件，具有高灵敏度、大量程、线性度高、制备工艺简单、成本低、可大面积大批量生产的优点。 |
