一种电阻式高灵敏柔性压力传感器件
基本信息
申请号 | CN201910409890.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110057478B | 公开(公告)日 | 2021-03-16 |
申请公布号 | CN110057478B | 申请公布日 | 2021-03-16 |
分类号 | G01L1/22(2006.01)I;G01L9/04(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 孙思雨;曹海琳;丁小恒;李明愚;郭悦 | 申请(专利权)人 | 深圳烯创先进材料研究院有限公司 |
代理机构 | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 罗志伟 |
地址 | 518000广东省深圳市南山区粤海街道科技南十路6号深圳航天科技创新研究院大厦C座401-404房间 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种电阻式高灵敏柔性压力传感器件,包括叠层设置的第一柔性薄膜基底、压敏层、环形电极层和第二柔性薄膜基底,其中,所述压敏层位于所述第一柔性薄膜基底、环形电极层之间,所述环形电极层位于所述压敏层、第二柔性薄膜基底之间,所述环形电极层包括环形电极和电极引出端,所述环形电极与所述电极引出端连接,所述第一柔性薄膜基底与所述第二柔性薄膜基底通过粘性材料封装,所述压敏层包括位于同一平面的外圈压敏层和内圈压敏层,所述外圈压敏层的直径大于所述内圈压敏层,所述内圈压敏层的表面电阻大于所述外圈压敏层的表面电阻。本发明的有益效果是:兼具较高灵敏度与量程输出曲线无突变。 |
