一种杀菌MEMS发光微镜及杀菌方法

基本信息

申请号 CN201910014257.5 申请日 -
公开(公告)号 CN109917541A 公开(公告)日 2019-06-21
申请公布号 CN109917541A 申请公布日 2019-06-21
分类号 G02B26/08(2006.01)I; A61L2/10(2006.01)I 分类 光学;
发明人 汪际军 申请(专利权)人 全普光电科技(上海)有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 200000 上海市嘉定区南翔镇沪宜公路1185号8层806
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种杀菌MEMS发光微镜及杀菌方法,利用反射镜的快速旋转来实现微观扫描即像素级扫描,紫外发光元件随着反射镜的旋转而旋转,实现动态紫外光辐射,有效的提高了杀菌面积和杀菌效率。并且,由于将紫外发光器件与MEMS扫描微镜芯片集成于一体,大大降低了器件尺寸,实现了器件的轻薄化。