一种MEMS发光微镜及光发射方法

基本信息

申请号 CN201910014272.X 申请日 -
公开(公告)号 CN109557663A 公开(公告)日 2019-04-02
申请公布号 CN109557663A 申请公布日 2019-04-02
分类号 G02B26/08(2006.01)I 分类 光学;
发明人 汪际军 申请(专利权)人 全普光电科技(上海)有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 200000 上海市嘉定区南翔镇沪宜公路1185号8层806
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种MEMS发光微镜及光发射方法,将光发射单元集成于MEMS扫描微镜的反射镜中,MEMS扫描微镜沿着扭臂进行摆动,每摆动一次,光发射单元摆动并发射出随之摆动的光束,从而实现动态发光。因此,本发明的MEMS发光微镜可以应用于照明、光探测和净化领域,实现光源的动态发射,提高发光均匀性,提高图像探测扫描速率,降低光能损耗,提高图像亮度和分辨率。