一种MEMS发光微镜及光发射方法
基本信息
申请号 | CN201910014272.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN109557663A | 公开(公告)日 | 2019-04-02 |
申请公布号 | CN109557663A | 申请公布日 | 2019-04-02 |
分类号 | G02B26/08(2006.01)I | 分类 | 光学; |
发明人 | 汪际军 | 申请(专利权)人 | 全普光电科技(上海)有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 200000 上海市嘉定区南翔镇沪宜公路1185号8层806 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种MEMS发光微镜及光发射方法,将光发射单元集成于MEMS扫描微镜的反射镜中,MEMS扫描微镜沿着扭臂进行摆动,每摆动一次,光发射单元摆动并发射出随之摆动的光束,从而实现动态发光。因此,本发明的MEMS发光微镜可以应用于照明、光探测和净化领域,实现光源的动态发射,提高发光均匀性,提高图像探测扫描速率,降低光能损耗,提高图像亮度和分辨率。 |
