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MEMS红外探测微镜、装置及探测方法

基本信息

申请号 CN201910014361.4 申请日 -
公开（公告）号 CN109813436A 公开（公告）日 2019-05-28
申请公布号 CN109813436A 申请公布日 2019-05-28
分类号 G01J5/00（2006.01）I; G01J5/08（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 汪际军 申请（专利权）人 全普光电科技（上海）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 200000 上海市嘉定区南翔镇沪宜公路1185号8层806
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种本发明的MEMS红外探测微镜、装置及探测方法，利用红外发射单元发射红外光线，利用MEMS图像扫描单元获取物体的图像信息数据。其中，图像扫描单元采用的MEMS扫描微镜芯片上集成了红外发射单元、图像获取单元，可以伴随着反射镜沿扭臂的摆动而向外界发出红外光束或接受外界的反射的红外光束，利用反射镜的摆动来实现大量像素的快速生成，从而确保了在实时传输过程中生成的动态红外温度图像的分辨率和清晰度；同时实现动态发光，提高发光均匀性，提高图像探测扫描速率，降低光能损耗，提高图像亮度和分辨率。