多晶硅氢还原炉尾气出口结构专利查询专利号|摘要-满商公司网

多晶硅氢还原炉尾气出口结构

基本信息

申请号	CN200920207629.8	申请日	-
公开（公告）号	CN201473328U	公开（公告）日	2010-05-19
申请公布号	CN201473328U	申请公布日	2010-05-19
分类号	C01B33/035(2006.01)I	分类	无机化学;
发明人	程佳彪;周积卫;张华芹;康治政	申请（专利权）人	上海森和工程投资有限公司
代理机构	上海世贸专利代理有限责任公司	代理人	严新德
地址	200240 上海市闵行区剑川路951号5幢619室
法律状态	-

摘要

一种多晶硅氢还原炉尾气出口结构，由还原炉上底板和还原炉下底板构成，上底板与下底板之间设置有冷却水腔，底盘中设置有复数个电极和气体进口，电极、气体进口分别分布在两个以上数目的同心圆周上，底盘中心设置有中心尾气出口，底盘中最外圈沿圆周方向设置有数个周边尾气出口，周边尾气出口的截面积相同。本实用新型保证了各尾气出口在相同压力下流量、流速相同，解决了多晶硅氢还原炉因炉内物料、温度分布不均匀而带来的硅棒沉积率低、生长不均匀的问题，而且尾气出还原炉时被有效、均匀的分流，不会导致尾气出口附近出现较大压差及扰流情况，从而减少大型还原炉倒棒情况。尾气出口与底盘冷却进水口均形成套管结构，能有效降低尾气出口处温度。