一种新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构

基本信息

申请号	CN200920207836.3	申请日	-
公开（公告）号	CN201485282U	公开（公告）日	2010-05-26
申请公布号	CN201485282U	申请公布日	2010-05-26
分类号	C01B33/03(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I	分类	无机化学;
发明人	郑飞龙;李东曦;张华芹;盛晔	申请（专利权）人	上海森和工程投资有限公司
代理机构	上海世贸专利代理有限责任公司	代理人	上海森和投资有限公司;上海森松压力容器有限公司
地址	200240 上海市闵行区剑川路951号5幢619室
法律状态	-

摘要

一种新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构，由底盘、隔热盘、隔热罩和复数个加热棒构成，加热棒均呈倒U型，任意一个加热棒的两端均连接在底盘上，底盘中与加热棒的连接处均设置有电极孔，加热棒分布在以底盘出气孔为圆心的第一圆周、第二圆周和第三圆周上，第一圆周上的加热棒、第二圆周上的加热棒和第三圆周上的加热棒在同心圆上角度交错和半径交错地分布，延长了氢化炉内的温度场，加热棒径向截面呈扁平状，可阻挡气流向底盘出气孔运动，使气流流向底盘底部后再回流向上，最后在加热棒的各层之间形成近似蛇形的流动，延长了四氯化硅和氢气的反应时间，气体可以得到充分反应，提高了处理效果，同时，充分利用了多晶硅氢化炉内的温度场，节约了资源。