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PLC自动控制的多晶硅还原炉进气系统

基本信息

申请号 CN200810179252.X 申请日 -
公开（公告）号 CN101419469B 公开（公告）日 2010-06-02
申请公布号 CN101419469B 申请公布日 2010-06-02
分类号 G05D7/06(2006.01)I;F27D7/00(2006.01)I 分类 控制；调节;
发明人 周积卫;茅陆荣;郝振良;程佳彪 申请（专利权）人 上海森和工程投资有限公司
代理机构 北京汇泽知识产权代理有限公司 代理人 上海森和投资有限公司;上海森松新能源设备有限公司
地址 201323 上海市南汇区祝桥工业区金闻路29号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种PLC自动控制的多晶硅还原炉进气系统，其包括有PLC控制器和仪表气源、与还原炉进气口一一对应连接的至少一个截止式方向控制阀，每个截止式方向控制阀配备有一个单电控制换向阀，所述截止式方向控制阀的气体出口与所述还原炉的进气口连接，所述截止式方向控制阀的气体进口直接连接工艺气体输入设备，所述单电控制换向阀的气体进口和一个气体出口接所述仪表气源，所述单电控制换向阀的另一个气体出口与所述截止式方向控制阀的控制口连接，所述PLC控制器与所述单电控制换向阀连接。