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多晶硅氢化炉进气口防冲挡板

基本信息

申请号 CN200920075869.7 申请日 -
公开（公告）号 CN201458749U 公开（公告）日 2010-05-12
申请公布号 CN201458749U 申请公布日 2010-05-12
分类号 C01B33/107(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 李严州;李东曦;周积卫;罗冀 申请（专利权）人 上海森和工程投资有限公司
代理机构 上海世贸专利代理有限责任公司 代理人 严新德
地址 200240 上海市闵行区剑川路951号5幢619室
法律状态 -

摘要

摘要 一种多晶硅氢化炉进气口防冲挡板，由一个平板构成，平板中设置有两个以上数目的通孔，平板的后侧连接有两个以上数目的拉筋。将拉筋焊接在多晶硅氢化炉的混合气体进口旁，平板垂直于混合气体进口，拉筋起固定作用，平板中的通孔可使一部分混合气体减速后通过通孔直接冲到外层隔热罩盖板上，对隔热罩顶端起到一定的冷却作用，而其他大部分混合气体在防冲挡板的导流下，从各个方向平稳地进入隔热罩与筒体之间的环形通道。同时，防冲挡板对进口气流的减速，大大降低了外层隔热罩在混合气流冲击下出现变形等不稳定因素，提高了外层隔热罩的使用寿命，减少了设备不安全因素的出现。