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一种泡沫铜为吸液芯的均热板制造方法

基本信息

申请号	CN201410008193.5	申请日	-
公开（公告）号	CN104764350B	公开（公告）日	2017-04-26
申请公布号	CN104764350B	申请公布日	2017-04-26
分类号	F28D15/04(2006.01)I	分类	一般热交换;
发明人	施忠良;朱春芳;王虎	申请（专利权）人	江苏格业新材料科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	212300 江苏省镇江市丹阳市开发区双仪路创业园
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种泡沫铜作为吸液芯的均热板的制造方法。采用分级构造不同厚度和孔隙率的泡沫铜烧结在由相应的不同厚度的铜板或铜箔制成的上盖板和下底板上，经焊接、抽真空、注液、封装后制成均热板。其中中间蒸汽腔采用一定厚度（通常大于≥0.8毫米）的圆柱状的分级构造泡沫铜支撑柱，保证气液相介质快速流动，加快介质相变循环速度。本发明的分级构造泡沫铜具有良好的毛细结构、孔结构分布均匀且孔隙率高；其作为吸液芯的均热板特点是：散热效率高、重量轻、适合制造超薄结构，能够满足高热流密度的半导体电子装备所需高导热效率和小型化的要求。本发明的均热板，制造成本低，制作精度高。适用于计算机芯片散热，无线或者有线通讯行业的高能电子芯片、光电芯片或者射频芯片的冷却等多种用途。