衍射孔阵列结构微型光谱仪及其高分辨率光谱复原方法

基本信息

申请号 CN201210004166.1 申请日 -
公开(公告)号 CN102564586B 公开(公告)日 2013-08-07
申请公布号 CN102564586B 申请公布日 2013-08-07
分类号 G01J3/02(2006.01)I;G01J3/18(2006.01)I;G01J3/28(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 何浩培;杨涛;李伟;黄维;梁忠诚 申请(专利权)人 南京方圆环球显示技术有限公司
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 南京邮电大学;南京方圆环球显示技术有限公司
地址 210046 江苏省南京市亚东新城区文苑路9号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种衍射孔阵列结构微型光谱仪及其高分辨率光谱复原方法,衍射孔阵列结构微型光谱仪基本结构包括:一个构建在基底表面挡光层上的孔径大小不等的微型衍射孔二维阵列;基底材料采用透明材料;在基底的下方对应设有探测阵列芯片,一个衍射孔对应一个探测阵列芯片的像素元;在基底和探测阵列芯片中间有一层遮光板,遮光板把每个CCD像素元的大部分面积遮住,遮光板上有一系列孔径相同的透光孔;每一个衍射孔都正对着一个透光孔,其下是每个CCD像素元。由于入射光通过基底上方的衍射孔后会发生衍射现象,因此下方所对应的CCD像素元能探测到一定的衍射光光功率。因为阵列上的各个衍射孔孔径大小不等,其下方所对应的各个CCD像素元所测得的衍射光光功率大小也不同,对各个CCD像素元所测得数据进行反演就可以得到入射光的光谱信息。