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一种基于衍射孔阵列的微型光谱仪

基本信息

申请号 CN201220528123.9 申请日 -
公开（公告）号 CN202869653U 公开（公告）日 2013-04-10
申请公布号 CN202869653U 申请公布日 2013-04-10
分类号 G01J3/28(2006.01)I;G01J3/18(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 杨涛;何浩培;李伟;黄维;李兴鳌 申请（专利权）人 南京方圆环球显示技术有限公司
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 南京邮电大学;南京方圆环球显示技术有限公司
地址 210003 江苏省南京市新模范马路66号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种基于衍射孔阵列的微型光谱仪，沿入射光方向依次包括：入射光准直装置；一层基底，采用透明材料制作；一个构建在所述基底其中一个表面上的挡光层中的衍射孔二维阵列，所述挡光层由不透明材料制作，所述衍射孔二维阵列包括一系列具有不同孔径尺寸的衍射孔，且各衍射孔孔径尺寸与入射光波长接近，各衍射孔的深度与挡光层厚度相同；包括多个探测像素元的探测阵列芯片，所述探测阵列芯片的探测信号输出端与一计算分析部件连接；所述衍射孔二维阵列中各个衍射孔与所述探测阵列芯片中的探测像素元的位置非一一对应。本实用新型在保证与现有衍射孔阵列结构微型光谱仪性能相当的前提下，更易于加工，制作成本更低。