一种晶圆切割机主轴前置结构
基本信息
| 申请号 | CN201220333656.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202727131U | 公开（公告）日 | 2013-02-13 |
| 申请公布号 | CN202727131U | 申请公布日 | 2013-02-13 |
| 分类号 | B28D5/02(2006.01)I | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 发明人 | 李建文 | 申请（专利权）人 | 福州胜忆电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 350015 福建省福州市马尾区快安延伸区21号宏达利3#厂房二层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆切割机主轴前置结构，其包括设于晶圆切割机上的主轴前支架，所述主轴前支架靠近硅片定位平台的一侧上方设有固定座，所述固定座中设有切割主轴部件，所述切割主轴部件中设有切割刀片；本实用新型将晶圆切割机的切割主轴部件设置在主轴前支架靠近硅片定位平台的一侧上方，从而能够降低切割主轴的长度，使悬臂部分更短，增加主轴部件的刚性，并能够有效减少因热胀冷缩效应引起的变形，使切割主轴及切割刀片位置的更加不易偏移，有利于提高晶圆切割机的稳定性和加工精度。 |
