飞秒激光微形貌加工装置
基本信息
| 申请号 | CN201520241843.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204711399U | 公开（公告）日 | 2015-10-21 |
| 申请公布号 | CN204711399U | 申请公布日 | 2015-10-21 |
| 分类号 | B23K26/0622(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 豆照良;唐啸鸣 | 申请（专利权）人 | 天津纳微华瑞科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京东方汇众知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 天津纳微华瑞科技有限公司;上海纳微涂层有限公司 |
| 地址 | 300350 天津市津南区海河工业区聚兴道9号7号楼2181 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种飞秒激光微形貌加工装置，包括自动化机械手和飞秒激光装置；所述自动化机械手的夹持器对所述飞秒激光装置进行夹持；所述飞秒激光装置包括飞秒激光器、中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜，沿所述飞秒激光器射出的激光输出光路上依次设置有中性衰减片、分束片、准直透镜、小孔阵列板及聚焦透镜；加工工件时热影响区小、作用时间短，极大提高了形貌加工的精度，同时实现了真正意义上的非热熔性冷加工。 |
