超短脉冲激光微形貌加工装置
基本信息
| 申请号 | CN201520508094.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204771135U | 公开（公告）日 | 2015-11-18 |
| 申请公布号 | CN204771135U | 申请公布日 | 2015-11-18 |
| 分类号 | B23K26/064(2014.01)I;B23K26/08(2014.01)I;B23K26/362(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 豆照良;唐啸鸣 | 申请（专利权）人 | 天津纳微华瑞科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京东方汇众知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 天津纳微华瑞科技有限公司;上海纳微涂层有限公司 |
| 地址 | 300350 天津市津南区海河工业区聚兴道9号7号楼2181 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种超短脉冲激光微形貌加工装置，其包括自动扫描机械手臂和超短脉冲激光装置；所述的自动扫描机械手臂通过夹持器对所述超短脉冲激光装置进行夹持；所述超短脉冲激光装置包括超短脉冲激光源、中性衰减片、分束片和多个准直透镜组件，沿所述的超短脉冲激光源射出的脉冲激光输出光路上依次设置有中性衰减片、分束片和准直透镜组件。本实用新型因设置有超短脉冲激光源，可以提供脉冲宽度为飞秒级和皮秒级的超短脉冲激光；超短脉冲激光的能量在空间上呈高斯分布，通过控制入射激光的能流密度可使其中心很小区域内的能量值大于材料的破坏阈值，从而得到比聚焦光斑更小的特征尺寸以实现微形貌的精细加工。 |
