用于晶圆测试的测试系统异常中断恢复方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202111014452.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113721130A | 公开（公告）日 | 2021-11-30 |
| 申请公布号 | CN113721130A | 申请公布日 | 2021-11-30 |
| 分类号 | G01R31/28（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 阚紫为;杨颖超;李鹏宇 | 申请（专利权）人 | 浙江确安科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈晓斌 |
| 地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路6号8幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于晶圆测试的测试系统异常中断恢复方法及装置，涉及芯片制造领域。该方法包括：当测试系统异常中断后，从测试机中读取已存储的晶圆信息，从晶圆信息中提取已测试的晶圆测试结果；根据晶圆测试结果对空白测试结果图进行修改，得到部分测试结果图；通过探针台调取部分测试结果图，根据部分测试结果图对晶圆未测试的部分进行测试，得到完整测试结果图。本发明适用于晶圆测试系统异常中断后的测试恢复，能够使探针台根据部分晶圆map图继续进行晶圆剩余部分的测试，不需要对已经测试过的区域再次进行测试，从而减少了不能复测产品的报废，减少针痕增多后良率降低的风险，提高良率。 |
