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一种磷化铟尾料制备磷化铟多晶的方法

基本信息

申请号 CN202111045842.5 申请日 -
公开（公告）号 CN113774491A 公开（公告）日 2021-12-10
申请公布号 CN113774491A 申请公布日 2021-12-10
分类号 C30B29/40（2006.01）I;C30B28/06（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陈伟杰;白平平;周铁军;危严;林嘉威;齐正阳 申请（专利权）人 广东先导微电子科技有限公司
代理机构 北京天盾知识产权代理有限公司 代理人 朱伟雄
地址 511517广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种磷化铟尾料制备磷化铟多晶的方法，包括：将磷化铟尾料和过量红磷分别置于真空密封石英管的两端，再置于加热器中，将加热器置于压力容器内，在后续的加热过程中磷化铟尾料区域的温度高于红磷区域；加热升温确保在磷化铟尾料区域温度达到磷化铟的熔点前使石英管内压力达到磷化铟的离解压；待石英管内压力到达磷化铟离解压后，将磷化铟区域的温度升至1100～1300℃进行保温；然后对磷化铟区域进行分区域降温以使磷化铟进行定向凝固，得到磷化铟多晶料。本方法不仅能获得良率高的磷化铟多晶，而且可以提高磷化铟废料的利用率，简化工艺，降低生产成本，避免回收铟和磷过程中造成的资源浪费，减少废水废渣的产生，保护环境。