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一种提高曝光机曝光精度和抗干扰能力的触发电路

基本信息

申请号 CN202022664467.X 申请日 -
公开（公告）号 CN213305542U 公开（公告）日 2021-05-28
申请公布号 CN213305542U 申请公布日 2021-05-28
分类号 H04N5/235(2006.01)I 分类 -
发明人 肖燕青;何先福;吴永超;陈海巍 申请（专利权）人 江苏影速集成电路装备股份有限公司
代理机构 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 代理人 林娟
地址 221000江苏省徐州市邳州市恒山路西侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种提高曝光机曝光精度和抗干扰能力的触发电路，属于曝光机技术领域。所述触发电路由差分单端转换电路、信号分路电路、电源降压电路和信号输入输出接口电路组成；能够同时输出多路触发脉冲，可以有效地将差分信号反馈给DMD数字微镜，每路之间延迟时间小，整体延时小，同时差分信号高度免疫外界电磁干扰，故提高了触发电路信号的一致性和抗干扰性，解决了因外界因素影响，导致信号会出现偶发性丢失的问题，减小曝光图形与实际图形的偏差，提高产品良率，提高曝光机曝光性能。