一种LDI分段式真空吸盘及LDI设备
基本信息
| 申请号 | CN202020832934.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212060868U | 公开（公告）日 | 2020-12-01 |
| 申请公布号 | CN212060868U | 申请公布日 | 2020-12-01 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 肖燕青;陶元春 | 申请（专利权）人 | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 | 代理人 | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
| 地址 | 221000江苏省徐州市邳州市恒山路西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种LDI分段式真空吸盘及LDI设备，属于曝光技术领域。通过提供一种分段式真空吸盘，其中一段吸盘主体划分为M列，每一列连接一个纵向独立电磁阀；另外一段吸盘主体划分为N行，每一行连接一个横向独立电磁阀；在对小尺寸PCB板进行吸附时，只在横向或者纵向上存在漏在外面的吸真空气孔，也即相对于现有技术减少了漏在外面的吸真空气孔，在能够满足更多PCB板尺寸的同时，尽可能的减少了漏在外面的吸真空气孔数量，尽可能的降低了对吸盘整体真空环境的破坏。 |
