一种控制平台出板距离的激光直写曝光系统及曝光方法
基本信息
| 申请号 | CN201911184118.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110850687A | 公开（公告）日 | 2021-06-11 |
| 申请公布号 | CN110850687A | 申请公布日 | 2021-06-11 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 肖燕青;袁征;陈海巍;刘世林;曾振军;徐彦文 | 申请（专利权）人 | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 | 代理人 | 彭素琴 |
| 地址 | 221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区华山路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种控制平台出板位置的激光直写曝光系统及曝光方法，属于激光直写曝光技术领域。所述系统根据板材资料输入装置输入的待曝光板材资料计算工件台出板距离，并根据计算出的出板距离控制工件台将待曝光板材运输至相应的曝光位置，以便曝光设备对板材进行曝光，所述板材资料包括待曝光板材的尺寸信息；有效减少了小尺寸板材曝光时出板的无效距离，减少了曝光时间，有效提高了产能。同时未对设备进行大幅改动，方便后续设备维护。 |
