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一种调节成像光路倍率及夹角的装置

基本信息

申请号 CN201922277839.0 申请日 -
公开（公告）号 CN211427045U 公开（公告）日 2020-09-04
申请公布号 CN211427045U 申请公布日 2020-09-04
分类号 G03F7/20(2006.01)I 分类 -
发明人 肖燕青;何伟;程珂;陈海巍 申请（专利权）人 江苏影速集成电路装备股份有限公司
代理机构 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 代理人 江苏影速集成电路装备股份有限公司
地址 221000江苏省徐州市邳州市恒山路西侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种调节成像光路倍率及夹角的装置，属于曝光技术领域。本实用新型的调节成像光路倍率及夹角的装置，包括DMD承载台、夹角调节装置和底座，其中DMD承载台用于承载DMD组件，包括至少三个倍率调节装置；通过旋转倍率调节装置上的手杆，使其上的指针对应相同值的刻度，达到升降DMD承载台以调节DMD与到PCB板的距离，此过程无需对设备进行拆卸，方便操作，且指针和刻度的配合，使得在调节各个倍率调节装置时有所参照，达到准确调节的要求；在需要进行夹角调节时，通过旋转手轮来调节中空的板件的相对位置，从而带动DMD承载台位置的改变来达到夹角调节的目的。