一种多波段光学曝光系统、设备及方法
基本信息
| 申请号 | CN201811579233.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109407473B | 公开（公告）日 | 2021-06-11 |
| 申请公布号 | CN109407473B | 申请公布日 | 2021-06-11 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 陈海巍;宋志尚;李显杰;钱聪;程珂;茆晓华;吴长江;徐敏;王伟;王军华;刘世林;袁征;蒯多杰 | 申请（专利权）人 | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张勇 |
| 地址 | 221000 江苏省徐州市邳州市恒山路西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多波段光学曝光系统、设备及方法，属于印刷线路板技术领域。本发明提供的多波段光学曝光系统、设备及方法通过把不同波长光源进行分离，不同波长的光源匹配对应的光学器件，提高了光学器件的使用寿命，并通过将匹配不同波长的光源的曝光子系统设置在多波段光学曝光系统扫描方向上不同的位置处，使得不同的曝光子系统实现在材料的不同深度处、或与不同的光引发剂发生光化学反应有一定时间间隔，使光化学反应更为充分，让复合光敏材料的图形光泽度更好、清晰度更高，同时使曝光设备的产能整体和工作效率得到了提高。 |
