首页/ 北京北方华创微电子装备有限公司/ 专利详情

立式热处理设备

基本信息

申请号 CN202111447283.0 申请日 -
公开（公告）号 CN114220750A 公开（公告）日 2022-03-22
申请公布号 CN114220750A 申请公布日 2022-03-22
分类号 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/324（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 李元志;刘科学;吴艳华;孙妍;周文飞;魏明蕊 申请（专利权）人 北京北方华创微电子装备有限公司
代理机构 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 代理人 高东
地址 100176北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开一种立式热处理设备，包括工艺炉和炉门，该炉门用于密封该工艺炉的炉口；该炉门包括隔热盘和冷却盘，其中：该隔热盘为石英结构件，该隔热盘具有相背设置的密封面和第一安装面，该炉门通过该密封面密封该炉口；该冷却盘具有第二安装面；在该第一安装面和该第二安装面中，其中一者上设置有定位凸部，另一者上设置有定位凹部，该定位凸部可与该定位凹部定位配合，该隔热盘通过该定位凸部和该定位凹部的配合而定位安装于该冷却盘。上述方案能够防止隔热盘与冷却盘之间产生相对位移。