半导体工艺设备及其机械手系统
基本信息
| 申请号 | CN202122005160.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216098972U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216098972U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | B25J15/00（2006.01）I;B25J19/00（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 刘晶晶;赵海洋;李世凯 | 申请（专利权）人 | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 施敬勃 |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开一种半导体工艺设备及其机械手系统，该机械手系统包括机械手、供气管路和流量检测装置，其中：所述机械手具有承载面，所述承载面用于承载待传输件；所述机械手还具有气体流道，所述气体流道的进气口与所述供气管路的出气端连接，所述气体流道的出气口开设于所述承载面；所述供气管路的进气端用于连接气源，以向所述气体流道中通入检测气体；所述流量检测装置设置于所述供气管路上，所述流量检测装置用于检测所述供气管路中所述检测气体的流量。上述方案能够实时获取机械手的传片信息。 |
