半导体生产线MES系统及其实验方法
基本信息
| 申请号 | CN201910481991.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110233122A | 公开（公告）日 | 2019-09-13 |
| 申请公布号 | CN110233122A | 申请公布日 | 2019-09-13 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 冯宇; 夏利敏; 崔琴 | 申请（专利权）人 | 华经智能信息（江苏）有限公司 |
| 代理机构 | 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人 | 冯子玲 |
| 地址 | 200333 上海市普陀区祁连山南路2891弄105号6340室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体生产线MES系统，包括：MES核心，所述MES核心包括：工艺流程控制模块分别与设备通讯终端、主数据管理模块、调度器、调度程序模块通信，其中，还包括实验管理模块，所述实验管理模块与所述主数据管理模块、所述工艺流程控制模块通信。一种半导体生产线MES系统的实验方法，其中，实验管理模块获取MES系统中的主工艺流程，实验管理模块将主工艺流程中一个及以上的工艺步骤替换为实验工艺步骤。本发明在现有的MES系统中增加了独立的实验管理模块，实验管理模块可以获取主工艺流程，并可以根据需要将主工艺流程中的工艺步骤替换为实验工艺步骤，从而，本发明可以在不停机的基础上进行自动化的实验模式。 |
